在光刻工艺中，一般包括（）等规格的硅片A:1英寸、2英寸、3英寸、4英寸 B:1英寸、2英寸、5英寸、6英寸 C:3英寸、4英寸、5英寸、6英寸 D:3英寸、4英寸、6英寸、8英寸答案: 3英寸、4英寸、6英寸、8英寸

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在光刻工艺中，一般包括（ ）等规格的硅片A:1英寸、2英寸、3英寸、4英寸 B:1英寸、2英寸、5英寸、6英寸 C:3英寸、4英寸、5英寸、6英寸 D:3英寸、4英寸、6英寸、8英寸 答案: 3英寸、4英寸、6英寸、8英寸